专利转让公示

日期：2025-10-12

根据《中华人民共和国促进科技成果转化法》等国家法律法规，现将如下科技成果（专利权）转让进行公示。公示期15天，自2025年10月12日至2025年10月26日。如有任何异议，请于公示期内向研究院实名反映。

联系方式：0577-85516099

专利号：ZL202011524321.3

发明名称：一种提高MOCVD外延薄膜质量的优化生长方法

专利简介：本发明公开一种用预沉积形核层提高MOCVD外延薄膜质量的优化生长方法。采用的技术方案包括以下制备方法：步骤1、将衬底或薄膜A放在MOCVD设备的反应腔中，在反应腔充满载气H2的状态下，通入含元素X的化合物作为X源，将温度、反应腔压力、沉积时间均设置在该气体化合物能够分解出X原子的参数范围内，在衬底或薄膜A的表面进行预沉积X原子层，此时X原子层吸附在衬底或者薄膜A上；该X原子层可在后续流程中与其他化合物反应生成薄膜B成分，或者与薄膜A直接形成薄膜B成分。

专利权人：温州大学激光与光电智能制造研究院；温州大学

专利授权日：2022.12.27

受让方：温州芯生代科技有限公司

转让/许可方式：专利权转让

拟交易价格及价格形成过程：经三方协商，转让价格拟定为伍万元。