超快激光微纳激光加工装备

超快激光利用其高能光速快速集中到很小的作用区域，瞬间的高能量密度沉淀将使电子的洗手和运动方式发生变化，有效避免材料线性吸收激光而导致能量的转移和扩散等影响，从而根本上改变光与物质相互作用的方式。

超快激光+数字化控制，超短脉宽实现冷加工，达到超高精度的切割效果；用于航空发动机叶片气膜孔制备、航空燃油过滤片、晶圆切割、高精度制孔、柔性薄膜加工等。

设备主要特点：

（1）可根据用户需求快速匹配多轴机床，实现自由曲面的微纳加工；

（2）装备集成自由曲面随形自适应定位技术、螺旋光束扫描旋切技术、同轴能量在线监测技术等，实现激光装备数字化闭环控制；

（3）可最小加工孔径为50μm，深径比可达22：1；

（4）加工后无重铸层，无微裂纹，加工内壁光滑，粗糙度Ra为0.4μm。